加工対応一覧

ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
100x100 (□4インチ) 0.2~6 □7inch 2~3μm
150x150 (□8インチ)
200x200 (□6インチ) □9inch
φ150 (φ6インチ) □7inch
φ200 (φ8インチ) □9inch

上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせホームまでご連絡ください。
例:φ300㎜(φ12inch) , □300㎜(□12inch), 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。

ワークサイズ(mm) 板厚(mm) マスクサイズ ライン&スペース
300x400 0.3~2.8 470x570 3~6μm
300x420
370x470
400x500

※加工後カットはご希望のサイズで承ります。
弊社は、どのサイズであっても、試作開発製品~量産対応まで対応可能です。

金属膜(フォトリソ+エッチング)

  • アルミニウム,アルミニウム合金(Al,Al-nd)
  • 透明伝導膜(P-ITO,a-ITO,IZO,Zno)
  • クロム(Cr,CrO)
  • チタン(Ti)
  • モリブ系(Mo,MAM,MoNb)
  • (Au)
  • (Ag,APC)
  • (Cu,CuO)
  • ニッケル(Ni)
  • タングステン(W)
  • チタン酸バリウム(BaTiO)

樹脂膜(フォトリソ)

  • ノボラック樹脂(Novolac)
  • アクリル樹脂(Acrylic)
  • ポリイミド樹脂(Polyimide)
  • ドライフィルム(DFR)
  • カラーフィルター(CF)
  • 撥水性バンク(Bank)
  • シロキサン(Si-O-Si)

ネガレジスト・ポジレジストともにパターニング可能です。

無機膜(フォトリソ+エッチングorリフトオフ)

  • 二酸化ケイ素,シリコン窒化膜,窒化ケイ素(SiO2,SiON,SiN)

上記は実績を記載しております。
他にもお客様の開発品(樹脂・金属膜問わず)を多くパターニングしておりますので、是非にお問い合わせください。

 

樹脂パターン

製品例:カラーフィルター(CF)

製品例:隔壁(アクリル樹脂)

金属パターン

製品例:ITOパターン

製品例:Auパターン

ITO,AuともにL/S(ライン&スペース) 5/5μmでパターニングしております。

金属膜と樹脂膜を組み合わせた積層パターン