レジスト剥離(基礎技術)

剥離装置の写真

個別工程の対応も可能

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剥離方法

  • スプレー
  • DIP

MAM上レジスト残差分析結果

剥離後、ベンゼン環の検出が無い為、レジスト残差なくレジスト剥離を行うことができます。