露光(基礎技術)

露光装置の写真

個別工程の対応も可能

詳細は加工対応一覧へ

レジストパターン精度

L&S:最小2~3/2~3μm

アライメント精度

アライメントにズレがある写真
ズレがある場合
アライメントにズレのない写真
ズレながない場合

※2レイヤーある場合もアライメント精度±1.0μmで加工できます。
上記内容はあくまで最適条件下の実績値となり、仕様により異なります。