基本プロセス
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- STEP.01洗浄
- ドライ：常圧プラズマ・UV
ウェット：シャワー・高圧水洗・２流体・US
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- STEP.02レジストコート
- スリットコーター・スピンコーター・ロールコーター
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- STEP.03プリベーク
- ホットプレート・クリーンオーブン
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- STEP.04露光
- 一括露光
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- STEP.05現像
- シャワー・ディップ
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- STEP.06ポストベーク
- クリーンオーブン・ホットプレート
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- STEP.07エッチング
- シャワー・ディップ
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- STEP.07レジスト剥離
- シャワー・ディップ
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- STEP.08検査
- 外観・寸法測定・表面粗さ・画像
加工対応一覧
| ワークサイズ(mm) | 板厚(mm) | マスクサイズ | ライン&スペース |
|---|---|---|---|
| 100×100 (□4インチ) | 0.2～6 | □7inch | 2～3μm |
| 150×150 (□6インチ) | |||
| 200×200 (□8インチ) | □9inch | ||
| φ150 (φ6インチ) | □7inch | ||
| φ200 (φ8インチ) | □9inch |
上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせフォームまでご連絡ください。
例：φ300㎜(φ12inch) , □300㎜（□12inch）, 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。
| ワークサイズ(mm) | 板厚(mm) | マスクサイズ | ライン&スペース |
|---|---|---|---|
| 300×400 | 0.3～2.8 | 470×570 | 3～6μm |
| 300×420 | |||
| 370×470 | |||
| 400×500 |
※加工後カットはご希望のサイズで承ります。
弊社は、どのサイズであっても、試作開発製品～量産対応まで対応可能です。
金属膜(フォトリソ＋エッチング)
- アルミニウム,アルミニウム合金(Al,Al-nd)
- 透明伝導膜(P-ITO,a-ITO,IZO,Zno)
- クロム(Cr,CrO)
- チタン(Ti)
- モリブ系(Mo,MAM,MoNb)
- 金(Au)
- 銀(Ag,APC)
- 銅(Cu,CuO)
- ニッケル(Ni)
- タングステン(W)
- チタン酸バリウム(BaTiO)
樹脂膜(フォトリソ)
- ノボラック樹脂(Novolac)
- アクリル樹脂(Acrylic)
- ポリイミド樹脂(Polyimide)
- ドライフィルム(DFR)
- カラーフィルター(CF)
- 撥水性バンク(Bank)
- シロキサン(Si-O-Si)
ネガレジスト・ポジレジストともにパターニング可能です。
無機膜(フォトリソ＋エッチングorリフトオフ)
- 二酸化ケイ素,シリコン窒化膜,窒化ケイ素(SiO2,SiON,SiN)
上記は実績を記載しております。
他にもお客様の開発品(樹脂・金属膜問わず)を多くパターニングしておりますので、是非にお問い合わせください。
樹脂パターン
金属パターン
ITO,AuともにL/S(ライン&スペース) 5/5μmでパターニングしております。
金属膜と樹脂膜を組み合わせた積層パターン
