フレキシブル基板（フィルム、薄ガラス）上に薄膜の金属膜、樹脂膜（レジスト）のパターンを形成致します。
通常のガラス基板同様に、単層は勿論、積層（例：ITO/MAM/樹脂）も設計通りにパターニングさせていただきます。
実績フレキシブル基材
下記は、一般的な取り扱い例となります。特殊な開発フレキシブル基材上へのパターニングも可能です。
- PEN
- PET
- PI
- PC
- PES
- COP
- 薄ガラス
- PEN
- PET
- PI
- PC
- PES
- COP
- 薄ガラス
対応サイズ、実績加工膜
| ワークサイズ(mm) | 板厚(mm) | マスクサイズ | ライン&スペース |
|---|---|---|---|
| 100×100 (□4インチ) | ～0.1mm | □7inch | 2～3μm |
| 150×150 (□6インチ) | |||
| 200×200 (□8インチ) | □9inch | ||
| φ150 (φ6インチ) | □7inch | ||
| φ200 (φ8インチ) | □9inch |
上記以外のサイズでも、パターニング対応が可能です。
詳しくはお問い合わせフォームまでご連絡ください。
例：φ300㎜(φ12inch) , □300㎜（□12inch）, 130×110㎜ etc..
異形サイズも対応可能です。
| ワークサイズ(mm) | 板厚(mm) | マスクサイズ | ライン&スペース |
|---|---|---|---|
| 300×400 | ～0.1mm | 470×570 | 3～6μm |
| 300×420 | |||
| 370×470 | |||
| 400×500 |
金属膜(フォトリソ＋エッチング)
- アルミニウム,アルミニウム合金(Al,Al-nd)
- 透明伝導膜(P-ITO,a-ITO,IZO,Zno)
- クロム(Cr,CrO)
- チタン(Ti)
- モリブ系(Mo,MAM,MoNb)
- 金(Au)
- 銀(Ag,APC)
- 銅(Cu,CuO)
- ニッケル(Ni)
- タングステン(W)
- チタン酸バリウム(BaTiO)
樹脂膜(フォトリソ)
- ノボラック樹脂(Novolac)
- アクリル樹脂(Acrylic)
- ポリイミド樹脂(Polyimide)
- ドライフィルム(DFR)
- カラーフィルター(CF)
- 撥水性バンク(Bank)
- シロキサン(Si-O-Si)
ネガレジスト・ポジレジストともにパターニング可能です。
弊社加工方法 ＝ シートtoシート
弊社でフレキシブル基板を加工する際、シートtoシートでの加工となります。
シートtoシート方式であれば、従来のインフラ（枚葉式の装置）であっても、ガラス基板同様に流動することが可能です。
少量の試作開発から、量産まで対応することが可能です。
剥離し易い粘着材をセレクトしていているため、支持ガラスからフレキシブル基材のみ剥離することも容易です。
製品例：PEN/CrO
製品例：PET/Ti
製品例：PEN/CFレジスト(カラーフィルターレジスト)
製品例：PET/CUメッシュ
