洗浄(基礎工程)

洗浄装置の写真

基本工程

個別工程の対応も可能

詳細は加工対応一覧へ

アルカリ洗浄【1回の場合でのデータ】

アルカリ洗浄投入前の異物状況写真
アルカリ洗浄投入前異物数 1,977個

異物除去率98.07%

アルカリ洗浄投入後の異物状況写真
アルカリ洗浄投入後異物数 38個

※図の内容はガラス傷など除去しきれないモードも検出している内容となります。

洗浄方法一覧

DRY洗浄
UV洗浄
プラズマ洗浄
WET洗浄
アルカリ洗浄
超音波洗浄
高圧洗浄

※上記の選択を組み合わせて基板に対して最適な洗浄を選択し、
異物、 汚れ等の100%除去を目指します。