洗浄(基礎工程)

基板上に付着した異物、汚れをUVやプラズマ、薬品や純水を使用して除去する

アルカリ洗浄【1回の場合でのデータ】

異物除去率98.07%

※図の内容はガラス傷など除去しきれないモードも検出している内容となります。

洗浄方法一覧

※上記の選択を組み合わせて基板に対して最適な洗浄を選択し、
異物、 汚れ等の100%除去を目指します。