樹脂膜塗布(基礎工程)

樹脂膜塗布装置の写真

洗浄した基板に感光性樹脂(レジスト)を塗布する

基本工程

個別工程の対応も可能

詳細は加工対応一覧へ

実績のある材料

  • 金属パターニング用レジスト ※下記参照
  • 層間絶縁膜 (永久膜)
  • 平坦化膜
  • カラーレジスト
  • ブラックレジスト
  • 散乱膜

その他、開発品等の特殊素材にも対応いたします。

レジスト膜厚面内測定実績

レジスト膜厚：1μm狙い時データ
基板内ポイントの図
基板面内測定ポイント

塗布方法一覧

方法 液使用量 面内精度 非有効範囲
スリット 少 ◎ 外周5mm
スピン 多 ○ 外周10mm
ロール 少 △ 外周5mm

※依頼内容に合わせて塗布方法を選定します。