現像(基礎工程)

現像装置の写真

基本工程

個別工程の対応も可能

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現像方法

  • DIP
  • スプレー

※膜厚の厚いものから薄いものまでムラなく精度よくパター二ングできます。

レジスト線幅面内測定実績

レジスト線幅：20μm狙い時データ
基板内ポイントの図
基板面内測定ポイント
※レジスト膜厚・線幅共に面内バラつきを抑えて加工することができます。