エッチング(基礎工程) 腐食作用を利用して不要な金属膜を溶解、除去することで金属膜のパターン形成をする 基本工程 洗浄 樹脂膜塗布 プリベーク 露光 現像 ポストベーク エッチング レジスト剥離 検査 個別工程の対応も可能 詳細は加工対応一覧へ 保有エッチング装置 ITO Cr Ti Al Cu Au Mo a-ITO Ag エッチング方法 方法 面内の均一性 テーパーコントロール性 多様な膜へ対応 DIP ○ ◎ ◎ スプレー ◎ ○ △
