露光(基礎工程) マスク(パターンが描かれたガラス板)越しに紫外線を照射してレジストにパターンを感光させる 基本工程 洗浄 樹脂膜塗布 プリベーク 露光 現像 ポストベーク エッチング レジスト剥離 検査 個別工程の対応も可能 詳細は加工対応一覧へ レジストパターン精度 L&S:最小2~3/2~3μm アライメント精度 ズレがある場合 ズレながない場合 ※2レイヤーある場合もアライメント精度±1.0μmで加工できます。上記内容はあくまで最適条件下の実績値となり、仕様により異なります。