レジスト剥離(基礎工程)

剥離装置の写真

剥離液を使用して残っているレジストを溶解、除去する

基本工程

個別工程の対応も可能

詳細は加工対応一覧へ

剥離方法

  • スプレー
  • DIP

MAM上レジスト残差分析結果

剥離後、ベンゼン環の検出が無い為、レジスト残差なくレジスト剥離を行うことができます。