ポストベーク(基礎工程)

ポストベーク装置の写真

基本工程

個別工程の対応も可能

詳細は加工対応一覧へ

ベーク方式

クリーンオーブン (300℃まで対応可能)

ポストベーク温度プロファイル

基板内ポイントの図
基板面内測定ポイント
(400×500mmサイズのガラス基板上の内容になります)
※基板面内均一に加熱することが可能です。