プリベーク(基礎工程) 塗布したレジストに含まれている溶剤を一定の熱をかけ揮発、硬化させる 基本工程 洗浄 樹脂膜塗布 プリベーク 露光 現像 ポストベーク エッチング レジスト剥離 検査 個別工程の対応も可能 詳細は加工対応一覧へ ベーク方法一覧 ホットプレート クリーンオーブン ホットプレート温度プロファイル 基板面内測定ポイント(400×500mmサイズのガラス基板上の内容になります)※基板面内均一に加熱することが可能です