プリベーク(基礎工程)

プリベーク装置の写真

塗布したレジストに含まれている溶剤を一定の熱をかけ揮発、硬化させる

基本工程

個別工程の対応も可能

詳細は加工対応一覧へ

ベーク方法一覧

  • ホットプレート
  • クリーンオーブン

ホットプレート温度プロファイル

基板内ポイントの図
基板面内測定ポイント
(400×500mmサイズのガラス基板上の内容になります)
※基板面内均一に加熱することが可能です