検査(基礎工程)
完成したパターニング基板を決められた光源で外観を目視検査または光学顕微鏡で拡大検査し、各寸法測定を測長機で検査する
個別工程の対応も可能
保有検査機器
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2･3次元座標測定器
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測長顕微鏡
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触針式膜厚測定機
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高倍率光学顕微鏡
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画像検査装置
上記検査機器及び認定検査員による外観検査
(下記の蛍光灯・グリーンランプ・ナトリウムランプの光源使用)
検査光源
蛍光灯
割れカケキズ汚れ異物パターン異常等を検出する標準の検査となります。
グリーンランプ
蛍光灯では確認が難しいパターン汚れ、傷に対して有効です。
ナトリウムランプ
ゴミなどの異物突起をレジストが着いた状態で発見するのに有効です。
