エッチング(基礎工程)
腐食作用を利用して不要な金属膜を溶解、除去することで金属膜のパターン形成をする
レジスト剥離(基礎工程)
剥離液を使用して残っているレジストを溶解、除去する
保有エッチング装置
ITO
Cr
Ti
Al
Cu
Au
Mo
a-ITO
Ag
ITO
Cr
Ti
Al
Cu
Au
Mo
a-ITO
Ag
エッチング方法
- シャワー
- ディップ
＜特徴＞
一つのエッチング装置に複数のエッチング液を入れることはしませんので、エッチングの安定性、品質面でご安心いただけます。
レジスト剥離方法
- シャワー
- ディップ
＜特徴＞
有機系、無機系の剥離液を下地膜にダメージが出ないよう使い分けます。