保有検査機器
2･3次元座標測定器
測長顕微鏡
触針式膜厚測定機
高倍率光学顕微鏡
画像検査装置
光学濃度計
接触角計
AFM
顕微分光光度計
レーザーリペア機
上記検査機器及び認定検査員による外観検査
(下記の蛍光灯・グリーンランプ・ナトリウムランプの光源使用)
検査光源
蛍光灯
割れカケキズ汚れ異物パターン異常等を検出する標準の検査となります。
グリーンランプ
蛍光灯では確認が難しいパターン汚れ、傷に対して有効です。
ナトリウムランプ
ゴミなどの異物突起をレジストが着いた状態で発見するのに有効です。
